OEM спектрофотометр ESCORT SM

Свернуть меню
 


ОЕМ спектрофотометр ESCORT SM

для мониторинга процессов нанесения
оптических покрытий

 

Компания SOL instruments имеет многолетний опыт разработки и производства систем оптического контроля различных технологических процессов.

ОЕМ спектрофотометр ESCORT SM является универсальным прибором, в основе которого использованы новейшие разработки спектрального оборудования и прецизионных измерительных систем.

ОЕМ спектрофотометр ESCORT SM обеспечивает надежное сопровождение процессов нанесения оптических покрытий, производя быстрые и прецизионные измерения спектров эмиссии (Emission) напыляемого материала, спектров отражения и пропускания (Reflection & Transmission) наносимого покрытия, необходимые для контроля и оптимизации (Control & Optimization System) технологического процесса.

 

 

 

 

 

 

SOL instruments: спектрометр, рамановский микроскоп, эмиссионный спектрометр. fig1 ESCORT 435x315

 

Назначение

  • Спектрофотометр ESCORT SM предназначен для применения в качестве специализированного OEM спектрофотометрического комплекса для измерения характеристик оптических покрытий в процессе их нанесения, а также после нанесения, в вакуумных напылительных установках различных типов.
  • Спектрофотометр ESCORT SM содержит измерительный канал многоволнового контроля S125 и измерительный канал одноволнового контроля M450.
  • Спектрофотометр ESCORT SM позволяет одновременно по двум измерительным каналам проводить измерения коэффициентов пропускания Т или коэффициентов отражения R и предоставляет измеренные характеристики покрытия для автоматического управления процессом напыления.
  • Измерительный канал многоволнового контроля измеряет спектр одновременно для всех длин волн диапазона. Измерительный канал одноволнового контроля прецизионно и синхронно с многоволновым каналом измеряет характеристики покрытия на выбранной длине волны. Канал одноволнового контроля позволяет прецизионно измерить спектр после нанесения покрытия путем сканирования в заданном спектральном диапазоне с установленным шагом.

 

Измерительные функции

  • измерение спектров эмиссии, пропускания, поглощения, и отражения
  • измерение на фиксированных длинах волн значения эмиссии, коэффициента пропускания и оптической плотности, а также коэффициента отражения
  • измерения во времени на выбранной длине волны
  • расчет статистических характеристик

 

Отличительные особенности

  • Наличие двух независимых каналов измерений – многоволнового и одноволнового, работающих синхронно.
  • Оригинальные оптические схемы каналов измерения, обладающие высокими техническими характеристиками.
  • Встроенный персональный компьютер формата 3,5" позволяющий проводить скоростную обработку результатов измерений и передачу данных внешней программе управления вакуумной установкой.
  • Встроенный цветной TFT-LCD Touch Screen модуль на базе компьютера формата 3,5" или формата РС104 и наличие внутреннего программного обеспечения при автономной работе. Связь с внешним компьютером по скоростному интерфейсу 10/100 Ethernet, подключение к локальной компьютерной сети предприятия.
 

Примеры применения

SOL instruments: спектрометр, рамановский микроскоп, эмиссионный спектрометр. shema propuskanie ru

Измерение коэффициента пропускания в процессе вращения в вакуумной камере образца-свидетеля, на который наносится покрытие одновременно с рабочими деталями.

 

SOL instruments: спектрометр, рамановский микроскоп, эмиссионный спектрометр. shema propuskanie otrajenija ru

Измерение коэффициента пропускания или коэффициента отражения в процессе вращения в вакуумной камере образца-свидетеля, на который наносится покрытие одновременно с рабочими деталями.