ESCORT SM: мониторинг процессов нанесения оптических покрытий

ОЕМ спектрофотометр ESCORT SM создан специально для измерения характеристик оптических покрытий в вакуумных напылительных установках различных типов. Комплекс ESCORT SM предназначен для построения на его базе системы оптического контроля: он позволяет измерять толщину нанесения оптического материала с точностью до 0,2 нм.

Специализированный спектрофотометр ESCORT SM — это высокоточный и надежный инструмент, не имеющий аналогов на рынке, в основе которого использованы новейшие разработки спектрального оборудования и прецизионных измерительных систем.

Другие спектрофотометры от СОЛ инструментс:

Консультация и техподдержка

свяжитесь с нами

Описание OEM спектрофотометра ESCORT SM

Назначение спектрофотометра ESCORT SM

  • Спектрофотометр ESCORT SM предназначен для применения в качестве специализированного OEM-спектрофотометрического комплекса, интегрируемого в оптический канал вакуумной камеры для измерения характеристик оптических покрытий в процессе их нанесения, а также после нанесения, в вакуумных напылительных установках различных типов.
  • Спектрофотометр ESCORT SM содержит измерительный канал многоволнового контроля S125 и измерительный канал одноволнового контроля M450.
  • Спектрофотометр ESCORT SM позволяет одновременно по двум измерительным каналам проводить измерения коэффициентов пропускания Т или коэффициентов отражения R и предоставляет измеренные характеристики покрытия для автоматического управления процессом напыления.
  • Измерительный канал многоволнового контроля измеряет спектр одновременно для всех длин волн диапазона. Измерительный канал одноволнового контроля прецизионно и синхронно с многоволновым каналом измеряет характеристики покрытия на выбранной длине волны. Канал одноволнового контроля позволяет прецизионно измерить спектр после нанесения покрытия путем сканирования в заданном спектральном диапазоне с установленным шагом.

Измерительные функции

  • Измерение спектров пропускания, поглощения, отражения или эмиссии.
  • Измерение на фиксированных длинах волн коэффициента пропускания, оптической плотности, коэффициента отражения или значения эмиссии.
  • Измерения во времени на выбранной длине волны.

  • Расчет статистических характеристик.

Преимущества OEM спектрофотометра ESCORT SM

  • Наличие двух независимых каналов измерений – многоволнового и одноволнового, работающих синхронно.
  • Оригинальные оптические схемы каналов измерения, обладающие высокими техническими характеристиками.
  • Встроенный персональный компьютер формата 3,5″ позволяющий проводить скоростную обработку результатов измерений и передачу данных внешней программе управления вакуумной установкой.
  • Встроенный цветной TFT-LCD Touch Screen модуль на базе компьютера формата 3,5″ или формата РС104 и наличие внутреннего программного обеспечения при автономной работе. Внутреннее программное обеспечение осуществляет мониторинг процесса напыления или управление процессом напыления по “Know how”-алгоритмам для наиболее близкого совпадения спектров расчетного и наносимого покрытия.
  • Связь с внешним компьютером по скоростному интерфейсу 10/100 Ethernet для работы под управлением внешнего специализированного программного обеспечения. Внешнее специализированное программного обеспечение в режиме “моделирования процесса нанесения покрытия” позволяет сравнить различные встроенные алгоритмы управления процессом напыления, а также результаты нанесения покрытия, базирующиеся на измерительных характеристиках ESCORT SM или другого спектрофотометрического оборудования. Внешнее специализированное программное обеспечение в режиме управления процессом напыления позволяет автоматизировать процесс нанесения покрытия на основе встроенных алгоритмов или проводить мониторинг процесса напыления, управляемого другими устройствами или алгоритмами.
  • Подключение к локальной компьютерной сети предприятия.

Пример применения

Пример применения спектрофотометра ESCORT SM
Измерение коэффициента пропускания или измерение коэффициента отражения в процессе вращения в вакуумной напылительной камере образца-свидетеля, на который наносится оптическое покрытие одновременно с рабочими деталями.

Технические характеристики OEM спектрофотометра ESCORT SM

ХарактеристикаКанал S125Канал М450
Спектральный прибор:спектрографмонохроматор с двойной дисперсией
Фокусное расстояние спектрального прибора:125 мм450 мм (225 x 2)
Спектральный диапазон:от 380 до 1100 нмот 380 до 850 нм
Спектральные щели спектрального прибора:фиксированная,
шириной 0.04 мм
переменные,
шириной от 0.2 до 2 мм
Выделяемый спектральный интервал:от 1.35 до 3.4 нмот 0.3 до 3 нм
Минимальное время измерения сигнала:2 мс/спектр2 мс/точка
Минимальный шаг спектрального сканирования:0.37 нм/пиксель0.1 нм
Абсолютная погрешность установки длины волны:±0.4 нм±0.2 нм
Воспроизводимость установки длины волны:±0.2 нм±0.1 нм
Уровень мешающего излучения:0.1 % (на λ = 450 нм)0.005 % (на λ = 400 нм)
Фотометрический шум:0.07 %0.015 %
Фотометрическая точность:±0.5 %±0.2 %
Фотометрическая воспроизводимость (сходимость, повторяемость):±0.15 %±0.05 %
Приемники излучения:CCDФЭУ
Возможность измерения спектра эмиссии:данет
Ввод излучения в спектральный прибор:оптическое волокнооптическое волокно
Тип синхронизации:внешняя; внутренняявнешняя; внутренняя
Порты для подключения дополнительных внешних устройств:Ethernet, USB, RS 232, VGA, PS/2Ethernet, USB, RS 232, VGA, PS/2
Габариты:483 x 600 x 177 мм483 x 600 x 177 мм
Вес:25 кг25 кг
Энергопотребление:230 В, 50 Гц, 200 В•А230 В, 50 Гц, 200 В•А

Канал S125

  • Спектральный прибор: спектрограф
  • Фокусное расстояние спектрального прибора: 125 мм
  • Спектральный диапазон: от 380 до 1100 нм
  • Спектральные щели спектрального прибора: фиксированная, шириной 0.04 мм

  • Выделяемый спектральный интервал: от 1.35 до 3.4 нм
  • Минимальное время измерения сигнала: 2 мс/спектр
  • Минимальный шаг спектрального сканирования: 0.37 нм/пиксель
  • Абсолютная погрешность установки длины волны: ±0.4 нм
  • Воспроизводимость установки длины волны: ±0.2 нм
  • Уровень мешающего излучения: 0.1 % (на λ = 450 нм)
  • Фотометрический шум: 0.07 %
  • Фотометрическая точность: ±0.5 %
  • Фотометрическая воспроизводимость (сходимость, повторяемость): ±0.15 %
  • Приемники излучения: CCD
  • Возможность измерения спектра эмиссии: да
  • Ввод излучения в спектральный прибор: оптическое волокно
  • Тип синхронизации: внешняя; внутренняя
  • Порты для подключения дополнительных внешних устройств: Ethernet, USB, RS 232, VGA, PS/2
  • Габариты: 483 x 600 x 177 мм
  • Вес: 25 кг
  • Энергопотребление: 230 В, 50 Гц, 200 В•А

Канал М450

  • Спектральный прибор: монохроматор с двойной дисперсией
  • Фокусное расстояние спектрального прибора: 450 мм (225 x 2)
  • Спектральный диапазон: от 380 до 850 нм
  • Спектральные щели спектрального прибора: переменные, шириной от 0.2 до 2 мм
  • Выделяемый спектральный интервал: от 0.3 до 3 нм
  • Минимальное время измерения сигнала: 2 мс/спектр
  • Минимальный шаг спектрального сканирования: 0.1 нм
  • Абсолютная погрешность установки длины волны: ±0.2 нм
  • Воспроизводимость установки длины волны: ±0.1 нм
  • Уровень мешающего излучения: 0.005 % (на λ = 400 нм)
  • Фотометрический шум: 0.015 %
  • Фотометрическая точность: ±0.2 %
  • Фотометрическая воспроизводимость (сходимость, повторяемость): ±0.05 %
  • Приемники излучения: ФЭУ
  • Возможность измерения спектра эмиссии: нет
  • Ввод излучения в спектральный прибор: оптическое волокно
  • Тип синхронизации: внешняя; внутренняя
  • Порты для подключения дополнительных внешних устройств: Ethernet, USB, RS 232, VGA, PS/2
  • Габариты: 483 x 600 x 177 мм
  • Вес: 25 кг
  • Энергопотребление: 230 В, 50 Гц, 200 В•А

Вспомогательное оборудование для OEM-спектрофотометра ESCORT SM

Вспомогательное оборудование

  • Осветитель на основе галогенной лампы и жгут волоконно-оптический (для установки на оптический канал вакуумных камер или на имитатор оптического канала).
  • Имитатор оптического канала вакуумных камер (для проверки метрологических характеристик ОЕМ-спектрофотометра).
  • Модуль для измерения коэффициента зеркального отражения (с контрольными образцами).
  • Комплект аттестованных светофильтров для проведения операций проверки абсолютной погрешности по длинам волн и абсолютной погрешности при измерении коэффициента пропускания.

Периферийные устройства

Несмотря на то, что спектрофотометр ESCORT SM обеспечивает выполнение всех своих функций при автономной работе, к нему могут быть подключены следующие внешние устройства:

  • стандартная клавиатура, обеспечивающая набор и редактирование текста (например, для ведения баз данных);
  • компьютерная мышь для повышения удобства пользования графическим интерфейсом внутреннего программного обеспечения;

  • внешний монитор;
  • принтер, который подключается через порт USB при необходимости распечатки результатов измерений;
  • внешний персональный компьютер для расширения функциональных возможностей спектрофотометра ESCORT SM для решения нестандартных измерительных задач.

Вместе с внешним персональным компьютером поставляется специализированное программное обеспечение или программное обеспечение по спецификации заказчика.