MS350
Описание
Спецификация
Конфигурации прибора
Дифракционные решетки

Оптическая система

Оптическая схема:Черни-Тернера (модели MS3501i и MS3504i – с компенсацией астигматизма)
Порты:1 входной, 2 выходных
Диапазон длин волн:185 нм — 60 мкм
(определяется используемыми решетками)
Относительное отверстие (по входу):1/3.8
Фокусное расстояние (выходное):350 мм
Диапазон сканирования, ограниченный углом поворота решетки*:0 — 1280 нм
Основные зеркала:сферические
Рассеянный свет:1 х 10-5 (на расстоянии 20 нм от линии лазера 632.8 нм)
Фокальная плоскость:28 х 10 мм
  • Оптическая схема: Черни-Тернера (модели MS3501i и MS3504i – с компенсацией астигматизма).
  • Порты: 1 входной, 2 выходных.

  • Диапазон длин волн: 185 нм — 60 мкм (определяется используемыми решетками).

  • Относительное отверстие (по входу): 1/3.8.
  • Фокусное расстояние (выходное): 350 мм.
  • Диапазон сканирования, ограниченный углом поворота решетки*: 0 — 1280 нм.
  • Основные зеркала: сферические.
  • Рассеянный свет: 1 х 10-5 (на расстоянии 20 нм от линии лазера 632.8 нм).

  • Фокальная плоскость: 28 х 10 мм.

Используемая оптическая схема оптимизирована для:

  • минимизации комы во всем рабочем спектральном диапазоне;
  • исключения переотражения света от двух основных зеркал;
  • исключения переотражения света между зеркалами прибора и входными окнами детекторов, установленных в фокальной плоскости;
  • обеспечения большого плоского фокального поля для всего рабочего спектрального диапазона;
  • обеспечения компенсации астигматизма для всего рабочего спектрального диапазона с использованием специальной корректирующей оптики (для imaging модификаций прибора — моделей MS3504i и MS3501i).

Компенсация астигматизма

Модель:MS3501MS3504MS3501iMS3504i
Горизонтальное увеличение:1.091.091.091.09
Вертикальное увеличение:1.491.49
Остаточный астигматизм:< 35 мкм< 35 мкм
  • Модель MS3501: горизонтальное увеличение = 1.09
  • Модель MS3504: горизонтальное увеличение = 1.09
  • Модель MS3501i: горизонтальное увеличение = 1.09; вертикальное увеличение = 1.49; остаточный астигматизм менее 35 мкм
  • Модель MS3504i: горизонтальное увеличение = 1.09; вертикальное увеличение = 1.49; остаточный астигматизм менее 35 мкм
Спектральное изображение полученное на монохроматоре-спектографе MS3504i
Увеличенная часть спектрального изображения
Изображение, полученное на MS3504i (решетка 1200 штр/мм, многоканальный световод, диаметр сердцевины волокна 200 мкм, источник света: ртутно-гелиевая лампа, размер пикселя ПЗС камеры 24х24 мкм). 1 — спектральное изображение полностью; 2 — увеличенная часть изображения.
Дополнительные тесты качества изображения

Оптические характеристики*

Обратная линейная дисперсия:2.37 нм/мм
Спектральное разрешение:
ФЭУ:0.06 нм
Цифровая камера (12 мкм пиксел):0.07 нм
Воспроизводимость:± 0.03 нм
Точность установки длины волны:± 0.06 нм
Средний шаг сканирования:0.01 нм
  • Обратная линейная дисперсия: 2.37 нм/мм
  • Спектральное разрешение: ФЭУ = 0.06 нм; цифровая камера (12 мкм пиксел) = 0.07 нм
  • Воспроизводимость: ± 0.03 нм
  • Точность установки длины волны: ± 0.06 нм
  • Средний шаг сканирования: 0.01 нм

Механизм развертки по спектру

Двигатель:шаговый, с дроблением шага
Механизм:червячный
Единичный шаг:1.62 угловые секунды
Точность установки:± 1 шаг
Максимальная скорость:10000 шагов/с
  • Двигатель: шаговый, с дроблением шага.
  • Механизм: червячный.
  • Единичный шаг: 1.62 угловые секунды.
  • Точность установки: ± 1 шаг.
  • Максимальная скорость: 10000 шагов/с.

Дифракционные решетки

Размер решетки:70 x 70 x 10 мм
Способ вращения решетки:относительно центра нарезного участка решетки
Крепление решеток в моделях MS3504 и MS3504i:автоматизированная четырехпозиционная турель
Крепление решеток в моделях MS3501 и MS3501i:держатель на одну сменяемую вручную решетку
Воспроизводимость позиционирования решетки для автоматизированной четырехпозиционной турели (модели MS3504, MS3504i):
по длине волны*:± 0.03 нм
по вертикальному положению изображения:
типичная± 50 мкм
максимальная± 70 мкм
Воспроизводимость позиционирования решетки для держателя на одну сменяемую вручную решетку (модели MS3501, MS3501i):
по длине волны*:± 0.05 нм
по вертикальному положению изображения:± 70 мкм
  • Размер решетки: 70 x 70 x 10 мм.
  • Способ вращения решетки: относительно центра нарезного участка решетки.
  • Крепление решеток в моделях MS3504 и MS3504i: автоматизированная четырехпозиционная турель.
  • Крепление решеток в моделях MS3501 и MS3501i: держатель на одну сменяемую вручную решетку.
  • Воспроизводимость позиционирования решетки для автоматизированной четырёхпозиционной турели (модели MS3504, MS3504i): по длине волны* = ±0.03 нм; по вертикальному положению изображения: типичная = ±50 мкм; максимальная = ±70 мкм.
  • Воспроизводимость позиционирования решетки для держателя на одну сменяемую вручную решетку (модели MS3501, MS3501i): по длине волны* = ±0.05 нм; по вертикальному положению изображения = ±70 мкм.

Спектральные щели

Управление шириной щели:автоматическое (шаговый привод) или вручную (микровинт)
Ширина раскрытия щели:плавно регулируемая
от 0 до 2.0 мм
Параллельность ножей:± 1 мкм
Точность
(при ширине щели 1 мм):
± 10 мкм
Воспроизводимость:± 1 мкм
(± 1.5 мкм — ручная щель)
Цена деления микровинта:2 мкм
Единичный шаг (автоматизированная щель):0.5 мкм
Высота щели:от 0 до 10 мм
регулируется диафрагмой
  • Управление шириной щели: автоматическое (шаговый привод) или вручную (микровинт).
  • Ширина раскрытия щели: плавно регулируемая от 0 до 2.0 мм.
  • Параллельность ножей: ± 1 мкм.
  • Точность (при ширине щели 1 мм): ± 10 мкм.
  • Воспроизводимость: ± 1 мкм (± 1.5 мкм — ручная щель).
  • Цена деления микровинта: 2 мкм.
  • Единичный шаг (автоматизированная щель): 0.5 мкм.
  • Высота щели: от 0 до 10 мм – регулируется диафрагмой.

Порты

Количество портов:1 входной, 2 выходных
Воспроизводимость позиционирования выходного порта на длине волны (автоматизированное зеркало)*:± 0.03 нм
Время смены выходного порта:4 сек
  • Количество портов: 1 входной, 2 выходных.
  • Воспроизводимость позиционирования выходного порта на длине волны (автоматизированное зеркало)*: ±0.03 нм.
  • Время смены выходного порта: 4 сек.

Встроенный затвор

Время перекрытия:~100 мс
Максимальная частота:1 Гц
Управление:программно от встроенного контроллера прибора или TTL-сигналами от внешнего устройства
  • Время перекрытия: ~100 мс.
  • Максимальная частота: 1 Гц.
  • Управление: программно от встроенного контроллера прибора или TTL-сигналами от внешнего устройства.

Управление

Общее управление:от встроенного контроллера
Внешнее управление:от персонального компьютера
Интерфейс связи с компьютером:Ethernet
  • Общее управление: от встроенного контроллера.
  • Внешнее управление: от персонального компьютера.
  • Интерфейс связи с компьютером: Ethernet.

Габаритные размеры

Габаритные размеры
(Д х Ш х В):
510 х 395 х 200 мм
Вес:19 кг (может незначительно отличаться в зависимости от комплектации)
  • Габаритные размеры (Д х Ш х В): 510 х 395 х 200 мм.
  • Вес: 19 кг (может незначительно отличаться в зависимости от комплектации).

* Характеристики приведены для решетки 1200 штр/мм, ширины щели 15 мкм, длины волны 546 нм.