MS520
Описание
Спецификация
Конфигурации прибора
Дифракционные решетки

Оптическая система

Оптическая схема:Асимметричная Черни-Тернера (модели MS5201i, MS5204i – с компенсацией астигматизма)
Порты:1 входной и 2 выходных
Диапазон длин волн:185 нм — 60 мкм
(определяется используемыми решетками)
Относительное отверстие (по входу):1/5.4
Фокусное расстояние (выходное):520 мм
Диапазон сканирования, ограниченный углом поворота решетки*:0 — 1580 нм
Основные зеркала:сферические
Рассеянный свет:1 х 10-6 (на расстоянии 20 нм от линии лазера 632.8 нм)
Фокальная плоскость:28 х 10 мм
  • Оптическая схема: асимметричная Черни-Тернера (модели MS5201i, MS5204i – с компенсацией астигматизма).
  • Порты: 1 входной и 2 выходных.
  • Диапазон длин волн: 185 нм — 60 мкм (определяется используемыми решетками).

  • Относительное отверстие (по входу): 1/5.4.
  • Фокусное расстояние (выходное): 520 мм.

  • Диапазон сканирования, ограниченный углом поворота решетки*: 0 — 1580 нм.
  • Основные зеркала: сферические.
  • Рассеянный свет: 1 х 10-6 (на расстоянии 20 нм от линии лазера 632.8 нм).
  • Фокальная плоскость: 28 х 10 мм.

Используемая оптическая схема оптимизирована для:

  • минимизации комы во всем рабочем спектральном диапазоне;
  • исключения переотражения света от двух основных зеркал;
  • исключения переотражения света между зеркалами прибора и входными окнами детекторов, установленных в фокальной плоскости;
  • обеспечения большого плоского фокального поля для всего рабочего спектрального диапазона;
  • обеспечения компенсации астигматизма для всего рабочего спектрального диапазона с использованием специальной корректирующей оптики (для imaging модификаций прибора — моделей MS5204i и MS5201i).

Компенсация астигматизма

Модель:MS5201MS5204MS5201iMS5204i
Горизонтальное увеличение:1.071.071.071.07
Вертикальное увеличение:1.291.29
Вертикальное пространственное разрешение (минимальное расстояние между краями двух соседних треков (в многоканальной спектроскопии)):< 20 мкм< 20 мкм
  • Модель MS5201: горизонтальное увеличение = 1.07.
  • Модель MS5204: горизонтальное увеличение = 1.07.
  • Модель MS5201i: горизонтальное увеличение = 1.07; вертикальное увеличение = 1.29; вертикальное пространственное разрешение (минимальное расстояние между краями двух соседних треков (в многоканальной спектроскопии)) < 20 мкм.

  • Модель MS5204i: горизонтальное увеличение = 1.07; вертикальное увеличение = 1.29; вертикальное пространственное разрешение (минимальное расстояние между краями двух соседних треков (в многоканальной спектроскопии)) < 20 мкм.

Спектральное изображение полученное на монохроматоре-спектографе MS5204i
Увеличенная часть спектрального изображения
Изображение, полученное на приборе MS5204i (решетка 1800 штр/мм, многоканальный световод, диаметр сердцевины волокна 200 мкм, источник света: ртутно-неоновая лампа, пиксель 24х24 мкм). 1 — изображение полностью; 2 — увеличенная часть изображения.
Тесты качества изображения

Оптические характеристики

Тип решетки:1200 штр/мм, λ = 546 нмЭшелле, 75 штр/мм,
λ = 200 нм, 120-й порядок
Обратная линейная дисперсия:1.55 нм/мм0.11 нм/мм
Спектральное разрешение:
ФЭУ, ширина входной щели 10 μм:0.028 нм0.0020 нм
Цифровая камера, 12 μм пиксел, ширина входной щели 15 μм:0.034 нм0.0024 нм
Воспроизводимость:± 0.007 нм± 0.0009 нм
Точность установки длины волны:± 0.034 нм± 0.0045 нм
Средний шаг сканирования:0.0017 нм
Шаг сканирования на 200 нм:2.25 х 10-4 нм
  • Решетка 1200 штр/мм, λ = 546 нм: обратная линейная дисперсия = 1.55 нм/мм, спектральное разрешение ФЭУ (ширина входной щели 10 μм) = 0.028 нм, спектральное разрешение цифровой камеры (12 μм пиксел, ширина входной щели 15 μм) = 0.034 нм, воспроизводимость = ±0.007 нм, точность установки длины волны = ±0.034 нм, средний шаг сканирования = 0.0017 нм.
  • Решетка Эшелле, 75 штр/мм, λ = 200 нм, 120-й порядок: обратная линейная дисперсия = 0.11 нм/мм, спектральное разрешение ФЭУ (ширина входной щели 10 μм) = 0.0020 нм, спектральное разрешение цифровой камеры (12 μм пиксел, ширина входной щели 15 μм) = 0.0024 нм, воспроизводимость = ±0.0009 нм, точность установки длины волны = ±0.0045 нм, шаг сканирования на 200 нм = 2.25 х 10-4 нм.

Механизм развертки по спектру

Двигатель:шаговый, с дроблением шага
Механизм:синусный
Единичный шаг:0.22 угловые секунды
Точность установки:± 1 шаг
Максимальная скорость:10000 шагов/с
  • Двигатель: шаговый, с дроблением шага.
  • Механизм: синусный.
  • Единичный шаг: 0.22 угловые секунды.
  • Точность установки: ± 1 шаг.
  • Максимальная скорость: 10000 шагов/с.

Дифракционные решетки

Размер решетки:80 x 70 x 10 мм
Способ вращения решетки:относительно центра нарезного участка решетки
Крепление решеток в моделях MS5204 и MS5204i:автоматизированная четырехпозиционная турель
Крепление решеток в моделях MS5201 и MS5201i:держатель на одну сменяемую вручную решетку
Воспроизводимость позиционирования решетки для автоматизированной четырехпозиционной турели (модели MS5204 и MS5204i):
по длине волны*:± 0.02 нм
по вертикальному положению изображения:
типичная:± 25 мкм
максимальная:± 35 мкм
Воспроизводимость позиционирования решетки для держателя на одну сменяемую вручную решетку (MS5201 и MS5201i):
по длине волны*:± 0.05 нм
по вертикальному положению изображения:± 35 мкм
  • Размер решетки: 80 x 70 x 10 мм.
  • Способ вращения решетки: относительно центра нарезного участка решетки.

  • Крепление решеток в моделях MS5204 и MS5204i: автоматизированная четырехпозиционная турель.
  • Крепление решеток в моделях MS5201 и MS5201i: держатель на одну сменяемую вручную решетку.
  • Воспроизводимость позиционирования решетки для автоматизированной четырёхпозиционной турели (модели MS5204 и MS5204i): по длине волны* = ±0.02 нм; по вертикальному положению изображения: типичная = ±25 мкм; максимальная = ±35 мкм.
  • Воспроизводимость позиционирования решетки для держателя на одну сменяемую вручную решетку (модели MS5201 и MS5201i): по длине волны* = ±0.05 нм; по вертикальному положению изображения = ±35 мкм.

Спектральные щели

Тип спектральной щели:Автоматизированные (комбинированные)Ручные
Управление шириной щели:автоматическое (шаговый привод) либо вручную (микровинт)вручную микровинтом
Ширина раскрытия щели:плавно регулируемая
от 0 до 2.0 мм
плавно регулируемая
от 0 до 2.0 мм
Параллельность ножей:± 1 мкм± 1 мкм
Точность (при ширине щели 1 мм):± 10 мкм± 10 мкм
Воспроизводимость:± 1 мкм± 1.5 мкм
Цена деления микровинта:2 мкм2 мкм
Единичный шаг:0.5 мкм
Высота щели:от 0 до 10 мм – регулируется диафрагмой с ценой деления 0,5 ммот 0 до 10 мм – регулируется диафрагмой с ценой деления 0,5 мм
  • Автоматизированные (комбинированные) спектральные щели: управление шириной щели автоматическое (шаговый привод) либо вручную (микровинт); ширина раскрытия щели плавно регулируемая от 0 до 2.0 мм; параллельность ножей = ± 1 мкм; точность (при ширине щели 1 мм) = ±10 мкм; воспроизводимость = ±1 мкм; цена деления микровинта = 2 мкм; единичный шаг = 0.5 мкм; высота щели от 0 до 10 мм – регулируется диафрагмой с ценой деления 0,5 мм.
  • Ручные спектральные щели: управление шириной щели вручную микровинтом; ширина раскрытия щели плавно регулируемая от 0 до 2.0 мм; параллельность ножей = ± 1 мкм; точность (при ширине щели 1 мм) = ±10 мкм; воспроизводимость = ±1.5 мкм; цена деления микровинта = 2 мкм; высота щели от 0 до 10 мм – регулируется диафрагмой с ценой деления 0,5 мм.

Порты

Количество портов:1 входной, 2 выходных
Воспроизводимость выбора выходного порта (автоматизированное зеркало)*:± 0.03 нм
Время смены выходного порта:4 сек
  • Количество портов: 1 входной, 2 выходных.
  • Воспроизводимость выбора выходного порта (автоматизированное зеркало)*: ±0.03 нм.
  • Время смены выходного порта: 4 сек.

Встроенный затвор

Время перекрытия:~100 мс
Максимальная частота:1 Гц
Управление:программно от встроенного контроллера прибора или TTL-сигналами от внешнего устройства
  • Время перекрытия: ~100 мс.
  • Максимальная частота: 1 Гц.
  • Управление: программно от встроенного контроллера прибора или TTL-сигналами от внешнего устройства.

Управление

Общее управление:от встроенного контроллера
Внешнее управление:от персонального компьютера
Интерфейс связи с компьютером:Ethernet
  • Общее управление: от встроенного контроллера.
  • Внешнее управление: от персонального компьютера.
  • Интерфейс связи с компьютером: Ethernet.

Габаритные размеры

Габаритные размеры
(Д х Ш х В):
635 х 339 х 270 мм
Вес:25 кг (может незначительно отличается в зависимости от комплектации)
  • Габаритные размеры (Д х Ш х В): 635 х 339 х 270 мм.
  • Вес: 25 кг (может незначительно отличается в зависимости от комплектации).

* Характеристики приведены для решетки 1200 штр/мм, длины волны 546 нм.