Преимущества

1. Одновременный / многофункциональный анализ:
   • Рамановские измерения
   • люминесцентные измерения
   • измерения лазерного отражения и пропускания
   • трехмерные (3D) высококонтрастные изображения
     в отраженном свете
   • трехмерные (3D) Рамановские конфокальные измерения
   • информация о спектральных и поляризационных свойствах исследуемых образцов
2. Пространственное разрешение:
   • горизонтальное до 200 нм
   • осевое до 500 нм
3. Широкий спектральный диапазон:
   • 785 нм: спектральный диапазон 50 - 3700 см^-1
   • 633 нм: спектральный диапазон 60 - 6700 см^-1
   • 488 нм: спектральный диапазон 150 - 10000 см^-1
4. Одновременное использование до 5-ти лазеров путем автоматического переключения необходимых компонентов
   внутри системы
5. Система сканирования наряду со старт-стопным режимом сканирования позволяет осуществлять быстрое сканирование
   (1000 х 1000 точек за 3 секунды) с регистрацией сигнала
   с помощью ФЭУ. Площадь сканирования: 130 х 130 мкм.
6. Специальный блочный монохроматор-спектрограф с уникальными характеристиками:
   • спектральное разрешение до 0.006 нм
   • астигматизм менее 5 мкм
7. Возможность использования инвертированных (inverted)
   и прямых (up-right) микроскопов
8. Наличие телескопа с переменным увеличением для согласования
   с входными зрачками микро объективов от 3 до 12 мм
9. Возможность выполнения поляризационных измерений
10. Высокая чувствительность при низкой мощности
    лазерного возбуждения (от мкВт до мВт)
11. Наличие модуля отражения для одновременного получения
    3D изображения в отраженном свете
12. Опция для измерений на пропускание
13. Полностью автоматизированное управление
    всеми устройствами системы
14. Блочная, жесткая, стержневая конструкция обеспечивает высокую временную и температурную стабильность
15. Отсутствие оптических волокон, ухудшающих многие оптические параметры (пропускание, волновой фронт, поляризацию)
16. Наличие кольцевого освещения для комбинации
    с атомно-силовым микроскопом

Падение сигнала от 90 % до 10 %
при прохождении 200 нм,  λ=514 нм,
иммерсионный объектив 100Х

Разрешение по оси Z – 442 нм,
полученное при перемещении объектива
вдоль оси Z и измерении отражения
от пластины кремния.
Условия измерений: объектив – 100X сухой,
длины волна – 488 нм.

Специальный блочный монохроматор-спектрограф
с уникальными характеристиками:
спектральное разрешение до 0.006 нм,
астигматизм менее 5 мкм
Абсолютная точность по длине волны:
не хуже 0.016 нм (для решетки 2400 штр/мм)
Спектральное изображение пинхола на ПЗС-камере Размер пикселя: 12 мкм Размер пинхола: 12 мкм Размер изображения: 1.5 пикселя.

Рамановский спектр кремниевой пластинки
Пик 4-го порядка кремния регистрируется отчетливо 1-й и 2-й порядки находятся
в глубоком насыщении Конфокальный режим.
Время накопления 60 секунд Лазер 488 нм,
мощность 5 мВт